半导体工业

液态氮管道从大储槽至分子束外延系统及各别使用点之配置

应用于卤素灯工业的系统基本配置图

液态氮循环密闭回路输送系统

液氮密闭循环系统在分子束外延应用上的特点：
1. 三层供给管道（Triax Feed Line）及流体静力学的扬高压力， 仅允许纯且经进一步冷却后的高纯度液氮进入分子束外延系统，这样避免了需排放经由储槽内因压降损失及管道热损，所产生的大量氮气。
2. 分子束外延系统内的 Cryopanel 表面仍为完全潮湿的，密闭循环系统的原始优势在于当热度的级别改变时的自我补偿能力，于回流管道内产生的较轻密度的液氮，加速了处于Cryopanel 内的液氮循环。
3. 氮气从气液相分离器往外排放，同时回收液氮，结果是安全、有效率及完全可靠的循环。
4. 与内建的"气液相分离器"相比，在"泵的抽取速度"或"粘滞系数"上，并没有可计量上的差别。
5. 在洁净室内的管道为可弯曲的，在烘烤之前所需管道的拆装，非常容易。
6. 在众多分子束外延系统制造厂商所配备的液氮供应管道，可提供对应的真空夹层刺刀接头， 这样就避免了衔接处的冰球及冷凝水。
7. 可提供真空夹层的温度探针，以监测回流管道内气氮的温度，确保操作时的循环处于最佳状态。