隔离手套箱

典型隔离手套箱的设计特征

一般正常之操作:
空气从周围之环境进入，并由产品处理舱排气，经由舱壁上方之HEPA过滤器产生一负压之环境，以避免微粒子从产品处理室(-75 pscal)进入进料舱(-50 pscal)或周围之环境，空气之流速为每秒 0.5-0.7 公尺。

圆筒进/出之操作:
产品之圆筒经由进料室之进/出门进入，隔离手套箱之空气供应自然的从过滤器转换至打开之门，经由隔离手套箱密闭回路控制系统所增加之风量，避免微粒子从产品处理舱进入进料舱或周围之环境。

产品之转移操作:
当圆筒移开盖子后，且圆筒塑料内衬已准备妥当，圆筒之顶端已覆盖产品处理舱之舱壁，在舱壁门移开之前，产生一机械密封，同时作产品之转移。

移转端口失效:
如产品移转端口之门为开启状态，而并无产品圆筒在定位，空气进入进料舱经由开启之端口通过产品处理舱，避免任何污染从产品处理舱进入进料舱。

手套端口失效:
如手套损坏变得已与手套端口间分离，压力传感器感知压力的瞬间下降，风扇即刻全速运转，空气经由此损坏口进入至隔离手套箱，以超过每秒5-7公尺之流速被抽入，避免任何微粒子逃离进入周围之环境。

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