在半导体工业LN2的应用上，VBC是世界上LN2动态真空绝缘夹层液氮管路系统制造的先驱者。VBC
早已发展出低温循环密闭回路输送系统，主要应用于所需为100%纯液氮低压高流量需求下的分子束外延系统(Molecular
Beam Epitaxy)中，VBC提供 SEMIFLEX®可绕性管的设备，其尺寸范围从1/2'-
2'ID，相较于其它开放式静态真空绝缘夹层液氮管路系统而言，更具弹性与效率。当液氮流经真空夹层管，因热损而产生气氮后，因密度的改变(较轻)，气/液氮由此两层之绕性管回到液气相分离器中，并因此而产生系统循环的动力。透过气液相分离器持续地将
GN2和LN2分离以提供百分之百的 LN2，氮气经此设备被排放至大气中，并避免气阻的产生，因此可确保液氮于管内中的连续循环。LN2在内层不锈钢管中循环流动。而
GN2 & LN2 的混合流体在中间层回流到气液相分离器。外层由真空泵浦来提供动态真空 “dynamic
vacuum”。外部表面包覆有不锈钢保护层。由于此特殊之设计，使得Triax可提供低压的纯液氮到分子束外延系统设备点使用。
液氮密闭循环系统在分子束外延应用上的特点。
1. 参层之供给管道（Triax Feed Line）及流体静力学的扬高压力，仅
允许纯且经进一步冷却后的高纯度液氮进入分子束外延系统，这样
避免了需排放经由储槽内因压降损失及管道热损，所产生的大量氮
气。
2. 分子束外延系统内的Cryopanel表面仍为完全潮湿的，密闭循环系统
的原始优势在于当热度的级别改变时的自我补偿能力，于回流管道
内产生的较轻密度的液氮，加速了处于Cryopanel内的液氮循环。
3. 氮气从气液相分离器往外排放，同时回收液氮，结果是安全、有效
率及完全可靠的循环。
4. 与内建的气液相分离器相比，在泵浦抽取速度或黏度系数上，并无
可计量的差别。
5. 在洁净室内的管道为可弯曲的，在烘烤之前所需管道的拆装，非常
 容易。
6. 在众多分子束外延系统制造厂商所配备的液氮供应管路，可提供
对应的真空夹层刺刀接头，这样就避免了衔接处的冰球及冷凝水。
7. 可提供真空夹层的温度探针，以监测回流管道内气氮的温度，确保
操作时的循环处于最佳状态。
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