液氮密閉循環系統在分子束磊晶應用上的特點。

1. 參層之供給管路（Triax Feed Line）及流體靜力學的揚高壓力，僅
　允許純且經進一步冷卻之液氮進入分子束磊晶系統，這樣避免了需排
　放從儲槽內因壓降損失及管路熱損，所產生之大量氮氣。

2. 分子束磊晶系統內之Cryopanel表面仍為完全潮濕的，密閉循環系統
　之原始優勢為當熱度的級別改變時的自我補償能力，於回流管路內
　產生之較輕密度的液氮，加速了處於Cryopanel內之液氮循環。

3. 氮氣從氣液相分離器往外排放，同時回收液氮，結果是安全、有效
　率及完全可靠的循環。

4. 與內建之氣液相分離器相比，在泵之抽取速度或黏度係數上，并無
　可計量之差別。

5. 在潔淨室內之管路為可彎曲的，在烘烤之前所需管路的拆裝，非常
容易。

6. 在眾多分子束磊晶系統製造廠商所配備之液氮供應管路，可提供對
　應之真空夾層刺刀接頭，避免了銜接處之冰球及冷凝水。

7. 可提供真空夾層之溫度感知器，以監測回流管路內氮氣及液氮之溫
　度，確保操作時之循環處於最佳狀態。